アンジュレータのスペック

	可視・紫外用	赤外用
形式	ハルバック方式	ハルバック方式
全長	2400 mm	2400 mm
周期長	24 mm	48 mm
周期数	100	50
アンジュレータギャップ	13 - 30 mm	28 - 40 mm
最大磁束密度	1.28  T	1.28 T
K値	0.65 - 1.1	0.65 - 1.1
磁石材質	Nd-Fe-B	Nd-Fe-B
光子波長	300 - 1500 nm	800 - 5000 nm

光共振器

	可視・紫外用	赤外用
光空洞の長さ	6718 mm	6718 mm
反射鏡	多層膜	多層膜or金属
レーザ平均出力	0.3 - 2 W	1 - 6 W
レーザパルス出力	2.4 - 50 kW	2.4 - 50 kW